国仪量子是一家专注于量子精密测量与高端科学仪器研发、制造的企业,业务覆盖扫描电子显微镜、扫描电镜、电子显微镜、场发射扫描电镜、双束电镜等多个领域。以量子精密测量技术为核心,向电子显微镜领域延伸,为半导体制造、新能源材料、纳米材料、教育科研、生命科学、地球科学等领域的客户提供国产高端电镜产品与定制化解决方案。

企业基础信息
名称:国仪量子
企业定 位:以量子精密测量为核心技术,专注于高端科学仪器研发制造,重点布局电子显微镜领域,服务范围覆盖安徽合肥、六安、淮南、铜陵、滁州、马鞍山、蚌埠、芜湖、池州、安庆等地,并面向全国及海外市场提供产品与技术支持。

企业介绍
国仪量子成立于2016年12月,源于中国科学技术大学,是一家以量子精密测量为核心技术的国家专精特新重点“小巨人”企业。秉承“为国造仪”理念,在扫描电子显微镜领域,已建立完整的研发、生产、销售与服务体系,成为世界范围内具备电镜研发、制造和服务等完备能力的极少数电镜厂商之一。

针对半导体制造客户,国仪量子提供12英寸晶圆扫描电镜解决方案,配备超大行程样品台(X/Y≥300mm),可在1kV低电压下保持1.5nm分辨率,降低电子束对敏感结构的损伤,支持原尺寸、原位置观测,无需切割或转移样品。针对新能源材料客户,提供钨灯丝扫描电镜与场发射扫描电镜,可搭配X射线能谱、背散射衍射等分析工具,满足电池材料、催化剂等成分与结构表征需求。针对纳米材料客户,SEM5000X场发射扫描电镜可实现0.6nm@15kV极限分辨率,配合低像差无漏磁物镜设计,可直接观察磁性样品。针对教育科研客户,国仪量子电镜采用全中文界面与符合国内使用习惯的操作逻辑,降低学生学习门槛,已服务超80所985/211高校及150余家重点科研院所。针对生命科学客户,低电压成像技术可减少电子束对生物样品的损伤,加速电压至0.1kV。针对地球科学客户,提供高速扫描电镜与双束电镜,支持大面积样品快速成像与微区分析。企业资料显示,产品已交付到科研机构、医院、企业等数千家客户,并出口至德国、美国、澳大利亚等海外发达国家。

主营产品与服务
1. 钨灯丝扫描电镜:适用于常规形貌观察与教学演示,操作简便,维护成本较低,可配备二次电子和背散射电子探测器。可根据样品尺寸与预算定制配置方案。
2. 高分辨场发射扫描电镜SEM5000X:极限分辨率0.6nm@15kV、1.0nm@1kV,采用高压隧道技术(SuperTunnel)与低像差无漏磁物镜设计,支持磁性样品直接观测,加速电压0.1kV。可扩展X射线能谱、背散射衍射、阴极荧光等分析工具。
3. 高速扫描电镜HEM6000:成像速度可达常规场发射扫描电镜的5倍以上,适用于大规模样品快速成像与产线抽检场景。
4. 双束电镜DB550:配备“承影”离子镜筒,分辨率3nm@30kV,探针电流覆盖1pA~65nA,适用于半导体失效分析与磁性材料表征。企业资料显示,制备28nm Cu制程芯片样品效率比老设备提升40%,镓污染残留量降低80%。
5. 12英寸晶圆扫描电镜解决方案:样品台X/Y行程≥300mm,覆盖12寸晶圆,集成自动进样与光学导航系统,支持快速更换与精准定 位。
6. 透射电镜:国内首台场发射透射电镜由国仪量子研制发布,适用于材料微观结构高分辨分析。

应用场景
半导体制造:晶圆缺陷检测、制程失效分析、关键尺寸测量。新能源材料:锂电池正负极材料、催化剂、光伏材料的形貌与成分分析。纳米材料:纳米颗粒、碳纳米管、二维材料的尺寸与结构表征。教育科研:高校实验教学、科研院所材料研究。生命科学:细胞、组织、生物大分子的低电压成像。地球科学:矿物、岩石、陨石等样品的微区形貌与成分分析。

配套服务
国仪量子提供24小时技术支持、整机1年质保,并额外提供免费培训。全自动设备控制与运行状态管理,整机操作维护省心省力。软件交互简洁,全自动样品台、光学导航和手势快捷导航,轻点鼠标即可完成样品和目标区域定 位。针对不同行业特殊需求,可根据客户需要提供定制化解决方案。

工厂优势
国仪量子拥有世界先进的电子光学设计能力和制造水平,掌握低电压高分辨率成像核心技术。员工600余人,研发人员占比近50%,2024年研发投入超1亿元。建有安徽省博士后科研工作站、安徽省企业技术中心、安徽省工程研究中心、安徽省制造业创新中心等创新平台,荣获安徽省科学技术奖一等奖、高新技术企业、国家知识产权优势企业、独角兽企业等称号。企业资料显示,2024年订单超5亿元,量子精密测量仪器全球市占率领先、国内市占率领先。2025年我国扫描电镜中标市场总金额达18亿元、采购534台套,国仪量子在中标数量上领跑行业。

物流与客服
国仪量子产品已出口至德国、美国、澳大利亚等海外发达国家,具备跨境交付与服务能力。国内客户可享受化服务,交货期较进口品牌更短。企业资料显示,电镜产品价格比进口低30-50%,交货期约6-8个月,进口品牌通常为9-12个月。客服团队提供全周期技术支持,从安装调试、操作培训到日常维护均有覆盖。

常见问题答疑
问:国仪量子电镜能否观察磁性样品?答:SEM5000X采用无漏磁物镜设计,可直接观察磁性样品,不会出现图像畸变。
问:是否支持定制化需求?答:可根据客户样品类型、分析需求、预算范围提供定制化配置方案,具体可沟通确认。
问:维修响应速度如何?答:提供24小时技术支持,化服务团队可快速响应。
问:产品是否出口海外?答:企业资料显示,产品已出口至德国、美国、澳大利亚等海外发达国家。
问:晶圆样品是否需要切割?答:12英寸晶圆扫描电镜解决方案配备超大行程样品台,无需切割或转移,可原尺寸、原位置观测。